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技术参数
有效测量范围: 10 - 3000mm
精度 (20ºC 时):
10 - 300mm ±1μm
350 - 500mm ±2μm
600 - 1000mm ±3μm
1100 - 3000mm ±3μm/m
输出波形: 两路90° 相移正弦波信号
两路90° 相移正交信号
光栅刻度间距: 20μm
信号输出间距: ST24: 10μm
ST44: 20μm
分辨率: ST24: 0.05, 0.1, 0.5, 1μm
ST44: 0.05, 0.1, 0.5, 1, 5μm
最大响应速度: ST24: 1200mm/sec
ST44: 2400mm/sec
参考点间距:
10 - 80mm 中心点
100 - 3000mm 50mm
