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技术参数
有效测量范围: 10 - 3000mm
精度 (20ºC 时) :
10 - 300mm ±0.5μm
350 - 500mm ±1μm
500 - 1000mm ±2μm
1000 - 3000mm ±2μm/m
输出波形: 两路90° 相移正弦波信号
两路90° 相移正交信号
光栅刻度间距: 8μm
信号输出间距: 4μm
分辨率: 0.01, 0.02, 0.05, 0.1μm
最大响应速度: 1200mm/sec
参考点间距:
10 - 80mm 中心点
100 - 3000mm 50mm
