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MICSYS-SA1 2D 图像相关编码器系列

品 牌:三丰/Mitutoyo

产品描述

使用图像相关性的高精度进行非接触式2D编码。

X-Y同时定位测量。

纳米分辨率。

容易形成直线。

允许极小的旋转测量和偏转测量。

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技术参数

有效测量范围:    ±100um(2D)

20℃时精度:       ±100um

分辨率:             1nm
工作距离:          10±0.2mm

                          (包括厚度和标准目标:6.1mm)

20℃时直线度:    80nm

20℃时重复精度: 5nm

2D 图像相关编码器
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