品 牌:三丰/Mitutoyo
产品描述
使用图像相关性的高精度进行非接触式2D编码。
X-Y同时定位测量。
纳米分辨率。
容易形成直线。
允许极小的旋转测量和偏转测量。
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技术参数
有效测量范围: ±100um(2D)
20℃时精度: ±100um
分辨率: 1nm 工作距离: 10±0.2mm
(包括厚度和标准目标:6.1mm)
20℃时直线度: 80nm
20℃时重复精度: 5nm