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技术参数
有效测量范围： 10—3000mm
200C时精度： 10—300mm ±1urn
350—500mm ±2um
600—1000mm ±3um
1100—3000mm ±3um
输出波形： 两路90°相位差正弦波信号
两路90°相位差正交信号
光栅刻度间距： 20um
信号输出间距： 20um
分辨率： 0.05um
最大响应速度： 2600mm/sec
参考点间距： 10—75mm 中心点
100— 1000mm 50mm
具备EZA功能
